● 產品型號：1350型/1650型/2000型

● 應用領域：本設備主要用于高溫擴散、氧化、退火等工藝。

● 1350型
·形式：臥式、立式
·使用溫度：1000℃-1370℃
·控溫精度：±0.1℃
·恒溫區長度及精度：800mm，±0.2℃
·適用工藝尺寸：2-8寸
·控制方式：微控     
·工藝管類型：SiC

● 1650型
·形式：立式
·使用溫度：1370℃-1650℃；
·控溫精度：±0.1℃；
·恒溫區長度及精度100mm，±0.5℃；
·適用工藝尺寸2-6英寸；
·控制方式：全自動微機控制；
·工藝腔體環境為水冷真空或是保護氣體；
·真空度1×10-5pa；
·工藝氣體：根據客戶需求定制
·氣路系統氣密性 1×10-7pa.m3/s
·工藝管類型：SiC/多晶Al2O3（定制）