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     工藝設備 >> 微控擴散/氧化/退火系統
     
     

    ● 產品型號:1350型/1650型/2000型

    ● 應用領域:本設備主要用于高溫擴散、氧化、退火等工藝。

    ● 1350型
    ·形式:臥式、立式
    ·使用溫度:1000℃-1370℃
    ·控溫精度:±0.1℃
    ·恒溫區長度及精度:800mm,±0.2℃
    ·適用工藝尺寸:2-8寸
    ·控制方式:微控     
    ·工藝管類型:SiC

    ● 1650型
    ·形式:立式
    ·使用溫度:1370℃-1650℃;
    ·控溫精度:±0.1℃;
    ·恒溫區長度及精度100mm,±0.5℃;
    ·適用工藝尺寸2-6英寸;
    ·控制方式:全自動微機控制;
    ·工藝腔體環境為水冷真空或是保護氣體;
    ·真空度1×10-5pa;
    ·工藝氣體:根據客戶需求定制
    ·氣路系統氣密性 1×10-7pa.m3/s
    ·工藝管類型:SiC/多晶Al2O3(定制)

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