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       工藝設備 >> 微控擴散/氧化/退火系統
       
       

      ● 產品型號:1350型/1650型/2000型

      ● 應用領域:本設備主要用于高溫擴散、氧化、退火等工藝。

      ● 1350型
      ·形式:臥式、立式
      ·使用溫度:1000℃-1370℃
      ·控溫精度:±0.1℃
      ·恒溫區長度及精度:800mm,±0.2℃
      ·適用工藝尺寸:2-8寸
      ·控制方式:微控     
      ·工藝管類型:SiC

      ● 1650型
      ·形式:立式
      ·使用溫度:1370℃-1650℃;
      ·控溫精度:±0.1℃;
      ·恒溫區長度及精度100mm,±0.5℃;
      ·適用工藝尺寸2-6英寸;
      ·控制方式:全自動微機控制;
      ·工藝腔體環境為水冷真空或是保護氣體;
      ·真空度1×10-5pa;
      ·工藝氣體:根據客戶需求定制
      ·氣路系統氣密性 1×10-7pa.m3/s
      ·工藝管類型:SiC/多晶Al2O3(定制)

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