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半導體、微電子、新材料
高端工藝設備研發、生產、銷售
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| 工藝設備 >> YK-3600型旋轉沖洗甩干機 |
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● 產品型號：HD-IPC-D系列
● 應用領域：
YK-3600型旋轉沖洗甩干機主要用于半導體晶片，掩膜版，各種基片等多種材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。
● 技術指標：
工藝參數：
·適用8”/200毫米最大晶圓尺寸
·轉子適用于Entegis/A192-81M(25pcs)花籃
·旋轉速度：300-2500r/min
廠務需求：
·電氣：220VAC，3.2KW
·N2：OD1/2管，壓力：0.25-0.3Mpa，流量：150-200L/min（帶流量調節器）
·DI：OD1/2管，壓力：0.3-0.4Mpa，流量：20-25L/min
·排水：OD50mm(UPVC)
設備尺寸：·520mmX760mmX1630mm（長X寬X高）
機身結構：·不銹鋼骨架+PP外殼
設備配置：
·快速拆卸更換轉子（單螺栓）
·超高潔凈閥門管件
·氣體過濾器（0.003µm
·靜電消除裝置
·電阻率檢測控制和探頭 |
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● 上一個產品：
沒有了
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微控擴散/氧化/退火系統
● 返回上級產品 |
點擊數：410 錄入時間：2019/7/16 【 打印此頁】 【 返回】 |
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