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     工藝設備 >> YK-3600型旋轉沖洗甩干機
     
     
    ● 產品型號:HD-IPC-D系列

    ● 應用領域:
    YK-3600型旋轉沖洗甩干機主要用于半導體晶片,掩膜版,各種基片等多種材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。

    ● 技術指標:
    工藝參數:
    ·適用8”/200毫米最大晶圓尺寸
    ·轉子適用于Entegis/A192-81M(25pcs)花籃
    ·旋轉速度:300-2500r/min

    廠務需求:
    ·電氣:220VAC,3.2KW
    ·N2:OD1/2管,壓力:0.25-0.3Mpa,流量:150-200L/min(帶流量調節器)
    ·DI:OD1/2管,壓力:0.3-0.4Mpa,流量:20-25L/min
    ·排水:OD50mm(UPVC)

    設備尺寸:·520mmX760mmX1630mm(長X寬X高)

    機身結構:·不銹鋼骨架+PP外殼

    設備配置:
    ·快速拆卸更換轉子(單螺栓)
    ·超高潔凈閥門管件
    ·氣體過濾器(0.003µm
    ·靜電消除裝置
    ·電阻率檢測控制和探頭
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