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半導體、微電子、新材料
高端工藝設備研發、生產、銷售
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工藝設備 >> YK-3600型旋轉沖洗甩干機 |
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● 產品型號:HD-IPC-D系列
● 應用領域: YK-3600型旋轉沖洗甩干機主要用于半導體晶片,掩膜版,各種基片等多種材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。
● 技術指標: 工藝參數: ·適用8”/200毫米最大晶圓尺寸 ·轉子適用于Entegis/A192-81M(25pcs)花籃 ·旋轉速度:300-2500r/min
廠務需求: ·電氣:220VAC,3.2KW ·N2:OD1/2管,壓力:0.25-0.3Mpa,流量:150-200L/min(帶流量調節器) ·DI:OD1/2管,壓力:0.3-0.4Mpa,流量:20-25L/min ·排水:OD50mm(UPVC)
設備尺寸:·520mmX760mmX1630mm(長X寬X高)
機身結構:·不銹鋼骨架+PP外殼
設備配置: ·快速拆卸更換轉子(單螺栓) ·超高潔凈閥門管件 ·氣體過濾器(0.003µm ·靜電消除裝置 ·電阻率檢測控制和探頭 |
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微控擴散/氧化/退火系統
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點擊數:410 錄入時間:2019/7/16 【 打印此頁】 【 返回】 |
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