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       熱處理設備 >> 低溫立式爐
       
       
      應用領域:
      適應于半導體高精度低溫熱處理工藝。

      技術指標:
      ● 工藝溫度范圍:100~300℃
      ● 恒溫區長度:250mm(可定制)
      ● 恒溫區內單點溫度穩定性≤±0.5℃
      ● 恒溫區內單點溫度重復性≤±0.5℃
      ● 升溫時間:≤20min
    1. ● 上一個產品: 高溫退火爐
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