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>> 氣路柜
● 主要用于放置工藝氣體源瓶
● 柜內可放置多個（1-3個）氣源瓶。
● 配有相應氣體的控制氣路板，管路上配有閥門及接頭
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脫膜爐
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凈化/氮氣存儲柜
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